物理气相沉积(PVD)技术
涂层设备

电弧离子镀 AIP®-S 系列

电弧离子镀(AIP®)系列是使用了电弧离子镀(AIP®)方法的批量系统。该标准系统应用范围广泛。AIP®-S 系列可以同时实现光滑表面和高沉积率。

AIP® 特点

  1. 1. AIP® 成功地减少了阴极电弧沉积的主要缺陷液滴。
  2. 2. 表面极度光滑的厚密度膜。
  3. 3. 通过高能量密度和高离子化,实现了高镀膜率。
  4. 4. 可用于多层镀膜和多工艺镀膜。
超精细阴极
超精细阴极
拉伸的等离子体范围
深入了解  
精细阴极
等离子体阴极
普通阴极
原有阴极

最新技术

最近,我们推出SFC(超精细阴极)新技术。SFC 技术是调谐阴极周围的磁场分布的先进新技术。

  • 新产品既覆盖了原有AIP®阴极的全部种类,又可通过偏置电压的控制来调节残余应力。
  • 实现了内部残余应力小的厚膜涂层(最大20微米)。
  • 无螺栓结构,一键操作更换靶材。
  • 通过改善靶材使用率,提高生产效率(提高20%)。

涂层厚度分布

机型

AIP AIP-S20 AIP-S40 AIP-S70
生产规模 研发用 中等批量生产 大批量生产
涂层工件装夹空间 φ 220mm
x H 120mm
φ 450mm
x H 500mm

φ 130mm
x H 500mm
x 6-主轴
φ 700mm
x H 700mm

φ 130mm
x H 700mm
x 12-主轴
电弧蒸发源 1 - 3 6 - 12 8 - 16
基体工作台 多轴行星式 6 轴行星式回转工作台 12 轴行星式回转工作台

精细阴极的效果

车削试验
材料:硬质合金;工件:AISI 316;
切削速度:270 [米/ 分钟];冷却方式:湿式
铣削试验
材料:硬质合金;工件:AISI A48-94a;
切削速度:220 [米/ 分钟];冷却方式:干式

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