物理气相沉积(PVD)技术
涂层设备

专用AIP® 系统

AIP® 在线涂层系统

AIP®在线系统适用于大批量生产。
该系统以独立腔室分别实现抽空、预热、涂层和冷却,实现了高效生产。

特点:

  1. 超先进全自动控制系统,可与前后工序连锁。
  2. 使用个人电脑掌控AIP®运行数据,实现高效运行管理。

模块化腔室构造,可根据涂层要求灵活调整,如组成5腔室或6腔室系统。

活塞环用物理气相沉积设备

AIP®-G系列

我们开发了针对特殊目的的专门AIP®系统。
AIP®-G系列专为活塞环厚膜而开发。

AIP®-G系列使用了全新设计的阴极——超精细阴极。

  1. 优异的膜厚均匀性
  2. 靶材的高效利用
  3. 可生成厚膜

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