物理气相沉积(PVD)技术
涂层设备

UBMS® 系列

非平衡磁控溅射

UBMS®系列是使用了非平衡磁控溅射方法的批量系统。由于该系统能够制作精细的高密度膜,可制作如类金刚石(DLC)和二硫化钼等润滑膜涂层。

UBMS® 特点

  1. 1. 在非平衡磁场作用下,等离子密度靠近靶材时增加。
  2. 2. 离子辅助效应最大化。
  3. 3. 镀膜属性控制:合成、附着、结晶化、表面形态。
  • 氩离子在等离子中激活,撞击靶材。

  • 激活的氩离子从靶材中溅射出金属原子。

  • 利用溅射出的金属离子形成镀膜沉积。

Balanced Magnetron
UnBalanced Magnetron
Typical DLC
Nano-Multilayered DLC

神钢的类金刚石(DLC)涂层拥有纳米多层结构,有极佳的耐磨性、低摩擦性和硬度。

Typical DLC
均匀完美的类金刚石镀膜

机型

AIP AIP-S20 AIP-S40 AIP-S70
生产规模 研发用 中等批量生产 大批量生产
工件装夹空间 φ 200mm
x H 120mm
φ 450mm
x H 400mm

φ 130mm
x H 400mm
x 6- 主轴
φ 700mm
x H 800mm

φ 130mm
x H 800mm
x 12- 主轴
电弧蒸发源 1 - 3 4 7
基体工作台 多轴行星式 6轴行星式回转工作台 12轴行星式回转工作台

非平衡磁控溅射系统的类金刚石的特点:

类金刚石(DLC = Diamond-like carbon)具有较高的机械硬度、化学惰性和低摩擦性能,广泛用于汽车零部件、机械零件和模具等多种用途。
神钢通过调节涂层参数,提供符合客户靶材需求的最佳类金刚石产品。

类金刚石的用途等

  1. 汽车零部件(发动机零件、燃油泵零件)
  2. 机械零件(滚珠轴承、滚珠螺杆、液压泵零件)
  3. 铝切削工具
  4. 铝罐旋压工具
  5. 不锈钢(SUS)管及铜管用切边模
  6. 不锈钢(SUS)板及铝板用冲孔机

等等

非平衡磁控溅射系统的尖端类金刚石

  • 高附着力类金刚石
    1. 非平衡磁控溅射的离子辅助效果
    2. 优化涂层
  • 硬度控制及多层类金刚石
    1. 非平衡磁控溅射的离子辅助效果
  • 金属掺杂类金刚石
    1. 金属靶材和碳的共溅射
  • 控制含氢量的类金刚石
    1. 固体碳源
  • 与电弧离子镀的混合涂层

等等

神钢类金刚石的效果

Punching of SUS Sheets
Drilling of Al Alloy

BELCOAT™ 非平衡磁控溅射系统

产品名称 类型 硬度 摩擦系数* 厚度 典型用途
(Hv) (μm)
BELCOAT
B
标准 1,500-2,500 0.1-0.15 0.5-5.0 实现耐磨性、润滑性和附着力的平衡。常规机械零件
BELCOAT
HB
高硬度 2,500-3,500 0.1-0.2 1-5 侧重耐磨性。汽车零部件冲压模
BELCOAT
UB
超高硬度 3,500-4,000 0.1-0.2 1-4 侧重高压下的耐磨性。适用于赛车和切削工具
BELCOAT
NB
纳米多层 1,500-2,500 0.1-0.15 1-10 实现耐磨性、润滑性、硬度的平衡,抗冲击。轴承、冲孔模
BELCOAT
MB
金属参杂 1,000-2,000 0.15-0.25 1-10 掺杂金属改变属性、去除镀膜应力。零件、注塑模具。

* 无润滑的铁摩擦系数

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